Probe Card 檢查儀, AIXON G 6 4 +NIKON

型 號 AIXON Vision G64+NIKON
量測範圍 X軸：600mm、Y軸：400mm、Z軸：150mm
00級花崗岩移動平台 (非鋁合金or鑄鐵床台)
基礎平台 採用日本NB無牙螺桿，可快速移動機
機構材質 依結構及應用之考量，採鋁合金及鐵材加工製作，表面均經陽極、染黑，鐵材均為鍍硬鉻處理。
鈑金封蓋均施以高溫粉體烤漆，確保表面硬度。外部固定螺絲均為不鏽鋼材質。
三軸軌道 採日本原裝NB系列線性滑軌模組與交叉滾子導軌
傳動方式 採日本原裝NB 系列精密滾珠螺桿傳動。
光 學 尺 英國RENISHAW光學尺。解析度為 0.0001mm (0.1 um )。
量測精度 3+L/200 (um)。
定位精度 0.0001mm (0.1 um)。
載台平面度 10um
避震方式 底部鋼架另加裝四組水平調整防震腳座，防低頻震動傳導
外觀尺寸 G64- 1100X1200X1600mm（L x W x H）。
電力系統 100~240 V

品牌 NIKON CFI60
三眼頭 正向三眼頭
目鏡 10X Eyepiece (內建十字刻劃片)
鼻輪 手動/電動
物鏡
(WD)mm
TU Plan Epi 5X 23.5(mm)
TU Plan Epi 10X 17.5(mm)
TU Plan Epi SLWD 20X 30(mm)
TU Plan Epi ELWD 50X 11(mm)