一)機台
- 量測範圍(Measuring Area) X,Y,Z=200*100*150(mm)
- 光學尺解析 二軸光學尺。 (Resolution) ≦ 0.001mm
- 量測精度(Accuracy) E2=(3+L/200)um
- 影像系統(Vision) 160萬像素,數位color camera
- 光源(illumination) 上、下兩種種光源,可控制光源亮度。
- 三軸移動(Driver) 三軸手動。
- 鏡頭(LENS) POMEAS六段式手動鏡頭 (21X,30X,60X、90X、120X、135X)。
- 操作方式(Operation) X,Y,Z,三軸手動控制,可微調與快速移動。
- 機械重量(Weight) 100kg。
- 校正片一片。
- 適合WINDOW11 等。